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型號:

SE-i 光譜橢偏儀03090808

描述:SE-i光譜橢偏儀產(chǎn)品簡介:光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時間

    2024-03-07
  • 訪問量

    340
詳細(xì)介紹


SE-i 光譜橢偏儀


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產(chǎn)品簡介: 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究 的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢 偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積, ALD 沉積等光學(xué)薄 膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時反饋測量物性數(shù)據(jù)。




產(chǎn)品型號

SE-i 光譜橢偏儀

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度:固定變角


2、應(yīng)用定位:原位定制型


3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S 等光譜


4、分析光譜: 380-1000nm,支持按需定制化


5、單次測量時間: 0.5-5s


6、重復(fù)性測量精度: 0.01nm


7、入射角范圍: 65°(支持定制)


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